离子辅助轰击能有效改善非晶碳膜(a-C)的质量.用脉冲激光(532nm,3.5×10W/cm烧蚀石墨靶,同时用Ar轰击膜面,在Si(100)衬底上沉积a-C......

类金刚石薄膜(DLC)因为其结构的特点和性质的卓越,吸引了众多研究者的目光,成为凝聚态物理、材料科学与工程等领域的重要研究和开......

在氮气和氩气的混合气氛下通过共溅射石墨靶和钛靶在M2高速钢基体上制备TiCN薄膜,利用扫描电子显微镜和X射线衍射仪分析TiCN薄膜的......

以金属钨靶和石墨靶反应共溅射的方法,在硅片上制备碳化钨薄膜。实验探究了功率和衬底温度对薄膜成分、质量的影响。研究表明,衬底......

介绍了新型的结合电子回旋共振（ECR）微波等离子体气相沉积与磁控溅射镀膜特点的ECR一650型镀膜系统，并利用该系统通过溅射石墨靶和金......