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射频磁控相关论文

磁控溅射TiNi和TiNiCe合金薄膜的组织结构与光学特性

本文利用射频磁控溅射方法制备了TiNi与TiNiCe合金薄膜。通过扫描电子显微分析(SEM)、原子力显微分析(AFM)、X射线衍射分析(X......

学位

合金薄膜光学特性射频磁控磁控溅射

射频磁控溅射制备氮化钽薄膜及微结构和电性能研究

采用自主研发系统,应用反应射频磁控技术,在氧化铝陶瓷样片上制备了方阻稳定性好的Ta N薄膜,研究了氮分压(N2/(N2+Ar))、沉积温度......

期刊

射频磁控 TaN薄膜氮分压沉积温度沉积时间

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