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层间介质材料相关论文
先进封装用聚合物层间介质材料研究进展
层间介质材料(interlayer dielectric,ILD)在集成电路封装中主要用作多层金属布线间的层间绝缘。随着IC封装尺寸的不断减小以及封......
会议
层间介质材料
聚酰亚胺
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层间绝缘
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