屏栅极相关硕士博士期刊学术论文

本文首先对离子蚀刻的原理和用途作了简短的介绍，接着介绍了ＬＳＫ－６００型离子蚀刻机的设计原则和结构设计，最后介绍了蚀刻机的实验结果。......