油扩散泵相关论文
真空系统是真空镀膜设备的主要组成部分,其主泵的选择对真空性能影响很大,真空镀膜设备的发展要求真空性能清洁无油,动态抽速大.传......
为了造成真空的环境来为生产服務,人们曾做了大量的試驗研究工作,制成获得低真空、高真空以及超高真空的各种工具——抽气机、真......
著名真空科学技术专家与物理学家、中国科学院学部委员金建中先生,19 9 0 年10月12日已逝世一周年.金建中先生的逝世,使我们国家失......
X射线光电子能谱仪是近十几年发展起来的一种表面分析仪器,它主要是利用MgKα或Alka的特征X射线来激发样品,测量被激发出来的电子......
自从1950年Bayard-Alpert电离计发明以来,真空技术逐步向超高真空领域推进。特别是现代科学技术──原子能、电子计算机和空间技术......
最近半世纪以来,真空的应用十分广泛。以近代世界三大成就——原子能、电子学和火箭技术为例,哪一件都不能与真空无关,因此有关获......
小型制冷机低温泵(以下简称低温泵)是七十年代末发展起来的一种新型抽气设备,目前国外已大量生产并在半导体微电子技术、新型材料科学......
<正> 显像管生产中,蒸铝以及管子封离前排空这两道工序都需要使用真空泵。当采用涡轮分子泵代替传统工艺中使用的油扩散泵后,可改......
油扩散泵是目前用来获得高真空的工具之一,其应用领域较为广泛。它具有成本低,结构简单、制造容易、无机械传动、无振动、无噪声、......
油扩散泵是一种广泛应用于电子、冶金、化学、原子能等工业部门和空间技术等科学研究领域中的高真空获得设备,因其结构简单,没有机......
油扩散泵与其他种类真空泵相比,结构更为简单,无运动部件,没有振动与噪声,使用方便,寿命长,成本低,因此被广泛应用于各科学研究和......
基于在高真空除气炉研制过程中取得的成功经验,对利用油扩散泵系统获得准无油真空环境以及设计中应注意的问题进行了研究探讨。
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通过对油扩散泵抽气速率、气体分子平均热运动速度和分子流态下气体流导的分析,指出油扩散泵对不同气体的抽气速率具有选择性,给出......
详细地介绍了前苏联1953年由国家制订的高真空油扩散泵工业产品的统一系列。该系列包括五种规格,在入口压力为1×10-4~1×10-5Torr......
目前,国内紧凑型荧光灯生产厂家的排气工序一般采用一人一机的操作方式,其排气系统结构如图1所示,该排气系统的操作程序为:(1)粗抽......
1989年10月12日,金建中同志在为我国的真空科学事业奋斗了近四十年之后溘然与世长辞,兰州物理所沉浸在悲痛之中,全国真空科学界为......
通过对油扩散泵抽气速率和分子流态下气体流动理论的分析,指出油扩散泵抽空机组对不同气体的抽气速率具有选择性,给出了泵对不同气......
介绍了新研制的高真空油扩散泵在拓宽抽气速率范围、提高临界前级压力、降低返油率方面的创新设计。给出了新研制的K-800A高真空油......
油扩散泵的最大出口压强是由最后一级喷咀的工作状态决定的。主要取决于蒸汽射流的密度、速度和喷咀的蒸汽流量。而这些参数又取决......
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机架要求用硬木制作,木质有重量轻、易加工和不变形的优点。由左右两只机架联成一组,习惯上称为二仓,每仓放置待抽瓶胆10个,架上部有细......
编者按:上海灯泡厂三车间玻璃小组的工人同志,自无产阶 级文化大革命以来。在毛主席的无产阶级革命路线的指引下,进一 步破除迷信、解......
油扩散泵系统是电镜真空系统的核心部分。本文在分析该系统工作原理的基础之上,着重讨论了系统的日常维护、泵油的选择原则与更换......
<正> 分子泵在某研究所受控热核装置上的应用:加速器是用来加速各种离子,获得高能粒子的装置。真空装置是各类加速器中不可缺少的......
本文对K-+320型节能、高油扩泵的研制进行了扼要阐述,并通过对其经济技效益分析,指出对扩散泵采取内部直接加热方法是可行的,是提高其热效率......
本文首先对离子蚀刻的原理和用途作了简短的介绍,接着介绍了LSK-600型离子蚀刻机的设计原 则和结构设计,最后介绍了蚀刻机的实验结果。......
<正> “真空”,作为一项工程技术,在各行各业已得到日益广泛的应用。由日用器具到宇宙航行,都可看到应用真空技术的发展远景。对化......
本文首先叙述了清洁超高真空的基本概念,并指出了污染的来源及其危害性。 叙述了各种清洁的超高真空获得手段。主要介绍了溅射离子......
对国内外油扩散泵的主要性能及现状作了比较 ,初步分析出存在的差距 ,提出了今后泵的发展趋势
The main performance and current......
提高铝膜和基底附着力的几点探索卢永智,隋峰(陕西师范大学物理系)铝膜和被镀工件要牢固地结合,清洁的基底是前题,被镀工作必须按要求彻......
真空系统是真空镀膜设备的主要组成部分,其主泵的选择对真空性能影响很大,真空镀膜设备的发展要求真空性能清洁无油,动态抽速大.传......
以普通油扩散泵一机械泵组成的有油排气系统是当前电真空器件生产中获得高真空的重要手段。由于目前电真空器件在该有油排气系统上......
阐述了真空炉工件氧化变色机理及产生原因分析,提出了真空炉工件变色故障的排除方法,还选择了三次比较典型的维修实例进行了介绍和......