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高拉速低能耗Φ200mm直拉硅单晶用热场的设计与分析
直拉硅单晶是重要的半导体材料,广泛应用于集成电路和太阳能光伏电池的制造。热场是直拉硅单晶生长技术的核心,对产品的质量、产量......
学位
直拉硅单晶
热场设计
热屏
底保温
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