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弹性铰链PID控制相关论文
微进给工作台的设计及控制方法的研究
超精度加工技术是国家重点资助的研究领域,而高质量的纳米级微进给系统是实现超 精度加工的关键.该文紧密结合工程实际问题,研究纳......
学位
微进给工作台
超精度加工
电致伸缩陶瓷作动器
弹性铰链PID控制
前馈控制
有限单元法
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