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超精度加工技术是国家重点资助的研究领域,而高质量的纳米级微进给系统是实现超 精度加工的关键.该文紧密结合工程实际问题,研究纳......
论文首先采用实验的方法对压电陶瓷微驱动器的特性进行了测试，并分析了铰链刚度对微进给工作台最大输出位移的影响，推导了微......
采用平行板移动副设计了压电陶瓷驱动纳米级微进给工作台.用有限元方法系统的分析了铰链的各个几何参数对工作台的静、动态特性的......
研制了用于硬脆材料精密镜面磨削的带测力功能微进给工作台。该工作台以电致伸缩传感器实现微量进给，具有体积小、制造方便、可靠性......
本文论述了一台由电致伸缩陶瓷制动器驱动的微进给工作以的研制过程，设计了工作台的主体结构，预紧力机构及密封装置，并利用高等材料力......
超精密微位移系统的定位精度除了与其本身的特性有关外,还与工作环境等因素密切相关。本文系统地分析了温度对压电陶瓷微驱动器、......
