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强束流Ta离子注入铝的研究
利用从金属蒸汽真空弧离子源引出的强束流Ta离子,进行了Ta离子注入铝的研究.研究结果表明,在离子注入剂量为5×1017cm-2,平均......
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背散射
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铝
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低能强束流传输线的设计
低能束流传输(Low Energy Beam Transport,简称LEBT)线连接离子源和加速管,负责束流的输运、杂质离子的分离、束流参数的匹配,是加......
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低能
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