微型光机电系统相关论文
光学微腔传感器是当前微型光机电系统（MOEMS）器件的一个重要研究方向,由于其本身所具有的结构和性能优势,可以预计在未来的几十年时......
对投影型微光学编码器的原理进行了分析 ,结合微机电系统集成技术 ,提出并实现了投影型微光学编码器。它是利用微机电系统集成技术......
作为一种典型微型光机电系统——微型光谱仪器，具有许多大型光谱仪器所不具备的优点，并有着广泛的应用范围。因此，微型光谱仪器的研制......
微型光机电系统 (MOEMS)是将微光学、微电子和微机械系统结合发展出一种新型、宽广的应用领域 ,从早期的分立光学元件与电子电路向......
设计研制了一种小体积、低成本、可扩展的低电压非硅基底 1× 4微机电系统光开关。开关单元由电磁驱动 ,微反射镜绕直径 10 0 μm......
微型光机电系统(MOEMS)技术是一门新兴的技术,其应用涉及光通信、光显示、数据存储和光学传感等诸多方面,而利用这种技术制作的光......
数字微镜器件（DMD）专门用于对空间光进行振幅和相位调制。针对DMD特有的MEMS结构和μs级响应速度，提出将DMD作为空间光调制器（SLM）来实......
文中简述了所研制微型光谱仪的基本原理和基本结构, 并对该微型光谱仪进行了实验测试和标定. 在实验中采用汞灯作为测试所用的光源......
主要对基于三维微光机电系统（MEMS）的光开关结构进行研究，分析一种新型结构紧凑、高可靠性、大容量的光开关结构，并与常规结构的三维微......
自从1957年10月4日苏联发射第一颗人造地球卫星以来,随着科学技术的不断进步和发展,空间技术也取得了巨大的进展.人类不仅制造出了......
微型电子机械系统（ＭＥＭＳ）与光器件融合于一体的微型光机电系统（ＭＯＥＭＳ）成为ＭＥＭＳ研究的一个重要方向，它将会给光器件的发展带来新的飞跃，而光系统因无需力......
和传统光谱仪相比,微型光谱仪的分辨率较低,但由于它体较小、价格便宜等优点广泛应用于许多测量、控制领域。讨论了微型光谱仪结构......
