集成电路工艺相关论文
针对半导体工艺与制造装备的发展趋势进行了综述和展望。首先从支撑电子信息技术发展的角度，分析半导体工艺与制造装备的总体发展趋......
光子晶体通常由不同介电常数的材料周期性排列组成,电磁波通过这种周期性的特殊结构会受到布拉格散射的作用,其传输特性会在特定频......
目前与互补金属氧化物半导体工艺兼容且具有高发光效率的硅基光源的制作技术尚不成熟,针对这一问题,研究了一种新型多晶硅发光器件......
本文介绍并讨论了一种ｎ阱ＣＭＯＳ与ｎ沟ＳＣＣＤ兼容的集成电路工艺。采用这种工艺研制的模拟延迟积分器，工作电压为１５～１８Ｖ，采样频率达１．３ＭＨｚ。
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本文研究了在25%的四甲基氢氧化铵水溶液(TMAHW)中加入异丙醇(IPA)构成的腐蚀系统对硅的各向异性腐蚀特性.研究发现:在异丙醇含量......
摘要：“集成电路工艺原理”是微电子学的核心专业课程，是联系半导体器件与集成电路的关键环节。针对课程实验所需的集成电路工艺线价......
随着半导体制造步入1xnm技术节点时代,调焦调平系统的测量精度达到几十纳米。在纳米尺度范围内,集成电路(IC)工艺对调焦调平测量精......
随着集成电路工艺的发展，以及设计方法学的不断演进，SoC系统已在信息产业的各领域得到广泛应用，其中基于ARM处理器的SoC系统占据着主......
摘 要： 集成电路工艺学是沈阳化工大学电子科学与技术专业光电子方向的专业主干课，其课程内容多，知识面广，应用广泛，内容更新速度快。针......
六、工艺管理 工艺管理内容应包括对各检验点进行测量和目检,并用此检测结果来修改工艺以达到预期目的。在集成电路工艺管理中,基......
在半导体集成电路工艺中,很重要的步骤就是有选择性地在半导体中掺入N型或P型杂质。磷扩散就是为了形成高浓度的N~+区,制作双极NP......
应用的需求和集成电路工艺的发展促进了复杂的片上系统(SoC)的实现,同时也要求新的设计方法以支持复杂SoC的设计.高效率的软硬件联......
前言 90年代以来,集成电路遵循着摩尔(Moore)定律高速发展,0.18μm工艺已日趋成熟,0.13μm 12″硅片等更先进技术也将很快进入大......
研究了多维教学策略恰到好处应用到生动的高职学院《芯片制造工艺》课程。创新出列表格式阐述,便于清晰展现。对学生的学习体验设......
开发和利用并行性是提高程序执行性能的有效方法之一.传统的处理器主要采用超标量结构和超长指令字结构开发指令级并行性,受到程序......
相变随机存储器是一种电阻式存储器，它以硫属化合物为储存介质，利用电流产生的热量使材料在晶态（低阻相）与非晶态（高阻相）之间相互转换实......
实现了一种新型的基于硅IC工艺的微波铁氧体集成薄膜变压器．铁氧体薄膜采用射频磁控溅射法制备，SEM观察了SiO2层上铁氧体膜的表面形......
集成电路工艺的改进使存储器的测试面临着更大的挑战.本文从存储器的故障模型入手着重描述了单端口存储器,字存储器,多端口存储器......
GIDC-C密码算法芯片适用于计算机网络安全领域,该芯片采用超大规模集成电路工艺,是集CPU、加解密运算部件、存储器等为一体的SOC芯......
在嵌入式系统设计中低功耗设计是许多设计人员必须面对的问题,其原因在于嵌入式系统产品不是一直都有充足的电源供应,往往是靠电池......
主要介绍了测试薄层电阻等值图所反映出ＩＣ离子注入工艺存在的种种问题，以及改进结果和进行有效的监控，这对ＩＣ生产是非常重要的。......
文章提出了对PCM参数进行正交化而建立起一套广义参数，再以广义参数为基础构建工艺状态空间的技术。在工艺状态空间中，作为工艺结果......
集成电路工艺是电子科学与技术专业本科生重要的专业课程,针对课程特点,结合理论授课、TCAD工艺模拟、工艺实验验证三个方面,对构......
着重介绍了与标准集成电路工艺兼容的硅基光学器件的最新研究进展,包括硅基光发射器、硅基光波导和调制器件、硅基光电探测器和接......
双材料微悬臂非致冷红外探测成像系统的关键元件是一种新型红外探测器,它采用表面微机械与常规集成电路的新颖组合,其工艺与标准集......
集成电路工艺加工能力的不断提高给设计工作带来了多方面需要解决的问题。本文主要探讨目前在集成电路设计领域各个方面的设计技术......
近几年来,随着VLSI器件密度的增加和特征尺寸的减小,铜互连布线技术作为减小互连延迟的有效技术,受到人们的广泛关注.文中介绍了基......
随着集成电路工艺步入22 nm工艺节点,传统的硅基金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFETs)所产生的短沟道效应及低的击穿电压使其不......
“集成电路工艺”是微电子科学与工程相关专业的一门重要专业主干课程。本文首先探讨了双语教学的必要性和意义；在总结该课程双语教......
三维微电子学主要研究三维集成电路的设计与制造.文章讨论了三维集成电路的概念、发明思想、结构、优点、制造及其挑战和应用等.三......
随着功率双极集成电路在军民两用的各种电源管理、功率驱动等领域的广泛应用，以及集成电路生产规模的进一步扩大，对参数一致性、重复......
全硅光电子集成电路具有与硅集成电路工艺的兼容性。通过使用便宜的硅材料和先进的硅大规模集成电路制备工艺，能以很低的成本实现光......
提升电源转换效能、提高功率密度水准、延长电池使用时间以及加快开关速度,这一切皆意味着电子产业将会变得越来越依赖于新型的功......
多媒体技术在微电子学科教学中的应用日趋广泛。本文针对多媒体在集成电路工艺教学中的应用及其优缺点进行探讨。给出合理使用多媒......
集成电路工艺是微电子专业本科生重要的专业课程。针对课程特点,结合教学实际,提出了包括精心选择教学内容、多方位构建教学平台、......
前言回顾世纪之交的2000年左右,中国大陆吹响了发展本土集成电路产业的号角,本土的芯片代工厂相继在上海张江破土动工和投产,中国......
本文提出在直接键合前用等离子体活化硅片表面的方法。经活化后表面硅悬挂键明显增加,从而对羟基进行有效的化学吸附。低压气体放......
在我国集成电路产业又一次高速发展之际,以卓越工程师培养计划为导向,探索并实践了集成电路工艺实验教学。从系统工程的角度,将理......
从准分子激光的概念及特点引入，概述了以248nm KrF、193nm ArF以及157nm F2准分子激光光刻技术的现状和进展，并探讨了该领域面临的诸......
<正>金属-氧化物-半导体结构(MOS)是目前电子器件中最重要的器件之一,现代电子技术可以说是建立在MOS器件之上的。随着集成电路技......
集成电路工艺发展到深亚微米阶段,器件的物理尺寸日益减小,芯片的可靠性设计面临的问题越来越复杂。为缩短研制周期,节约成本,应在......
