微型流量传感器相关论文
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使用深掺杂方法在Si材料中掺入Au原子后，其电阻率随温度T的变化关系从主要依赖于T^-3/2项的浅掺杂材料变成主要依赖于exp(-E／KT)项的......
文中提出了一种基于恒温差的热式空气流量计的设计方法。该流量计采用微型流量传感器、集成测速铂电阻和测温铂电阻,能够有效补偿......
流量测量是工业生产和科研工作的重要的检测参数.近年来,随着对微电子机械系统(MEMS)的深入研究和取得的进展,传统的工业和流体力......
流量一直是生产和科研领域重要的测量参数,它的测量对流体系统的控制有着重要的意义。随着微机械加工工艺的进步,微型流量传感器的......
相比于传统的流量传感器,微型流量传感器具有体积小、功耗低、对微小流量测量灵敏度高等特点。文中依据传热学原理设计并研制了一......
