提出了利用MEMS技术将电化学生长的Al2O3模板加工成传感器的微悬梁结构，并将其用于催化燃烧式气体传感器结构的基底。采用平面薄膜......

自停止腐蚀工艺是在大规模集成电路工艺基础上发展起来的一项腐蚀工艺, 它利用不同浓度的腐蚀剂对不同掺杂浓度的硅片腐蚀速度差异......

The micro-cantilever beam with a twin long period optic fiber grating sensitive to the strain and the vibration is desig......

利用MEMS技术将化学生长的Al2O3模板加工成传感器的微悬梁结构,并将其应用于催化燃烧式气体传感器的基底。采用平面薄膜工艺制作出......

综述了聚焦离子束系统的结构和基本原理,介绍了国产化聚焦离子束系统的结构与特点。基于国产化聚焦离子束系统进行了硅材料刻蚀实......