微悬臂梁传感器相关论文
微悬臂梁是MEMS器件中最基本也是最典型的微结构,常用于微传感器。微悬臂梁具有灵敏度高、体积小、成本低等优点,在微小粒子及细胞......
传统微悬臂梁传感器液相检测大多将其置于盛有待测试样的特制载物台,然后借助原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)系统测量......
微悬臂梁传感器（MCLS）具有尺寸小、灵敏度高、选择性好、易与芯片技术兼容等优点，已在食品分析、环境监测、疾病诊断等领域得到广泛应......
基于力-电双向耦合理论,采用有限元方法,数值模拟研究压电微悬臂梁的灵敏度,并进行参数分析,为设计性能优良的悬臂梁提供理论依据......
制备了不锈钢基底压电厚膜微悬臂梁传感器。利用精密激光加工技术制备了厚度为100μm的不锈钢微悬臂梁基底,由于不锈钢具有良好的......
1986年原子显微镜的发明在生物技术和纳米技术领域内产生了新的传感技术:悬臂梁。由于这种技术对所检测的样品具有高度敏感性，目前......
研究新型开孔变截面微悬臂梁传感器的等效法向刚度及其对固有频率的影响。首先,考虑微梁纵截面孔洞结构引起的弯扭耦合效应,利用二......
微悬臂梁传感器以其实时、高灵敏度、非标记等优点,成为一种新型环境检测手段。介绍了微悬臂梁传感器的工作原理,包括其工作模式、......
