随着自组装膜(SAMs)技术在MEMS器件润滑方面研究的不断深入,有机硅烷类SAMs特别是由两种及两种以上硅烷分子制备的混合SAMs以其特......

在单晶硅和玻璃的基体上制备了十八烷基三氯硅烷(OTS)的自组装膜, 并采用自行研制的环境控制式点接触纯滑动微摩擦性能测量仪测试......

The friction, wear and lubrication of carbon nitride coatings on silicon substrates are studied using a spherical diamon......

摩擦、磨损和粘附问题已经成为影响微机电系统(Microelectromechanical Systems,MEMS)性能和可靠性的主要因素。微构件材料表面改......

以新发展的变分法和非线性优化方法求解能量泛函，分析微凸体峰元相互接触下的冷焊发展历程，研究空间机构摩擦副摩擦力下的冷焊问题，并......

针对微型机电系统发展过程中存在的总理２，论述了开展微型机械设计基础研究的意义和必要性，并且总结出微型机械研究中关于微机械设计基......