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综述了国内外几种典型的微驱动器和微机械手的工作原理,并比较了各自的特点,阐述了光致弯曲驱动的优势,研究了光致弯曲驱动曲梁在微机......
微机械手是一种典型的微型执行器,是微型机电系统(MEMS)的重要研究内容之一。以基于柔性铰链的电热驱动硅微机械手为研究对象,建立了......
在细胞注射时,显微镜上CCD获取的只是注射针的二维信息,但光轴方向的深度信息丢失,这会导致细胞注射的失败,必须用其他方法获得。......
研制了应用在惯性约束核聚变装配系统中的压电陶瓷微机械手,并对压电陶瓷的驱动电路,计算机控制的硬件及软件系统设计,以及系统的......