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以含2个振子的微机械滤波器为对象，提出了一组3dB截止频率、3dB带宽和通带波纹度计算模型。首先，考虑到微机械滤波器的阻尼很小，在振......
基于2振动自由度的静电梳驱动折叠梁微机械滤波器振动模型,利用结构鲁棒设计思想,在指定耦合梁宽度等于振子折叠梁宽度的前提下,推......
介绍了基于梳状、梁式、圆盘三种结构的射频微机电系统(RF-MEMS)谐振器及滤波器,并对RF-MEMS谐振器及滤波器的结构与性能参数进行......
近年来,微机电系统(MEMS)研究得到了迅猛的发展,用于射频通信领域中的MEMS技术,即RF-MEMS (Radio Frequency Micro-electro-mechan......
