微机械谐振器相关论文
微机械谐振器是在共振频率下振动的微机电典型器件。微机械谐振器具有高精度、低延迟、大动态范围等优点。由于兼容集成电路制造工......
微谐振器是微型和纳米机电系统(MEMS/NEMS)的重要组成部分,应用于传感、通信和能量采集等小型机械测试仪器。微谐振器结构阻尼的最......
近年来,光激励微型谐振器得到了比较广泛的关注,这种谐振器的激励光和检测光通过光纤传送,适用于电磁干扰强、易燃易爆等场合。传......
微机械电子系统是人类进入21世纪以来,科学技术的重要的发展方向。微机械谐振器作为微机械电子系统中的核心部件,了解各设计参数对......
设计了一种具有高品质因数和小尺寸的12.12 GHz的新颖复合腔结构的微机械谐振器,获得了相关测试数据.将高介电常数材料填入微机械......
对圆柱形复合腔结构微机械谐振元件进行了设计研究,提出了一种基于柱形腔结构的微机械复合谐振元件的设计方法,并对其结构及特性进......
微机械谐振器是基于MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)技术设计和制造的一种声学谐振器,相较于传统的电学谐振器,其尺寸可以......
针对用电容式射频微机械谐振器芯片级测试时信号微小、寄生效应严重、从而使得激励和检测困难的问题，本文对基于固支梁的微机械谐振......
静电驱动微机械谐振器由于其高频率、低功耗和小型化被广泛应用于工作在空气中和液体中的化学传感器和生物物种传感器中。对于微机......
微机械谐振器件是工作在固有频率处的新型MEMS微器件。品质因数是这类器件性能好坏的关键指标。高品质因数意味着低能量损失、高灵......
介绍了基于梳状、梁式、圆盘三种结构的射频微机电系统(RF-MEMS)谐振器及滤波器,并对RF-MEMS谐振器及滤波器的结构与性能参数进行......
为了缩短微机械谐振器的测量时间,提高测量效率。提出了一种针对压阻检测的微谐振器的频率特性测试新方法,该方法利用欧姆鉴相器,......
通过对径向振动圆盘的机械振动方程进行分析,将机械振动的分散参数集总化,提取出机械集总参量并通过机电类比的方法将集总化的机械......
微机电系统(MEMS)技术是21世纪科技发展的前沿，在生物、医学、机械电子、航空航天等领域有着广泛的应用价值。MEMS技术的迅速发展给......
基于微机械谐振器的硅振荡器是微波通信系统中的关键器件。制作了工作于径向体声学振动模态的微机械谐振器,通过分析微机械谐振器......
期刊
微机械谐振器在振动过程中总会产生能量耗散,并且具有诸如空气阻尼耗散、热弹性阻尼耗散、锚点结构耗散、表面耗散等诸多耗散机制,......
氮化镓（GaN）是直接宽带隙半导体材料，属于第3代半导体。相较于硅、砷化镓等，GaN的禁带宽度更大、击穿电场强度更高，具有更高的电子饱和......
