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微机电系统(MEMS)激光雷达相关论文

应用于激光雷达的二维静电微镜设计

设计了一种应用于激光雷达的二维静电驱动谐振式微机电系统(MEMS)扫描微镜。基于MEMS技术对微镜加工工艺进行设计,简化了电隔离槽......

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