微梁直拉直压相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

微梁直拉直压相关论文

一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化

给出了一种新型的微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器的工作原理。该设计能同时提高传感器的灵敏度和自由振动频率。基于分析......

期刊

加速度传感器微梁直拉直压结构优化设计规则

一种微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器

本论文主要论述了一种新型的微梁直拉直压的硅微机械压阻式加速度传感器的设计、制作和测试。该传感器同时具有较高灵敏度和谐振频......

学位

微机械技术压阻式加速度传感器微梁直拉直压灵敏度谐振频率

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