微机械技术相关论文
1 引言请想像这样的景像，用微小的机器干各种活。有的使汽车运行更加平稳安全，免除交通事故中千万人遇难。有的则以每秒数拍（1015比......
随着通迅技术的迅猛发展，微波开关的插入损耗、体积已成为微波控制器件领域 的瓶颈。近几年来随着微机械技术的不断发展，微机械微波......
介绍一种新颖的全光型硅微机械流量传感器。给出该传感器结构及工作原理的理论分析，并阐述传感器样品的测试及结果。流量传感器具有......
微机械指的是御运用微制造技术生产的传感器、微型机构、控制电路等,整合通信信号为一体的器件.微机械技术作为一种新兴的机械工业......
微机械传感器除运用硅基微电子制造技术外,大量应用化学腐蚀、特种高分子薄膜材料、电镀和电化学工艺等化学领域的新技术,形成了很......
随着惯性技术的发展,它的方向发生了新的变化,微机械技术日益占据重要的地位.石英振梁加速度计正是这样的一种微机械惯性仪表,因此......
<正>光交换设备主要有以下３种:微镜方式微镜式设备分二维和三维方式。二维方式是在硅基板上固定作为输入线和输出线的光纤,在光路的......
研究的动态被动阀微泵是一种基于微机械技术的振膜型无阀微泵.相对于有阀微泵而言,有更高的工作频率和可靠性,结构简单,加工制造的......
从微机械技术基础理论研究、微机械制造工艺、微装配技术等方面阐述了我国微机械技术的研究概况.以微机械技术在航空、航天、国防......
介绍了微机械技术的含义、特点和基本特征.阐述了微机械技术在生物医学、航空航天及微型机器人等方面的进一步应用情况.......
研究了一种压阻复合层微机械悬臂梁红外探测器，建立了其热挠曲理论模型。为提高探测器的红外吸收特性，应用了一种新型红外吸收层材料......
提出了一种基于间接标靶法的微小推力的测量方法.对测量原理进行了分析.利用该测量方法对一系列利用微机械技术(MEMS)制作的微喷管......
提出了一种基于石英晶体温度频率特性的石英音叉微谐振式温度传感器。通过理论分析的方法对传感器进行设计,并采用有限元仿真对传......
神经电极是实现人体和外部机器间信息融合的关键界面器件,是脑科学、生物电子医疗等前沿领域的技术核心。早期出现的神经电极以金......
介绍光声光谱气体传感器的发展及应用意义,根据气体光声效应讨论了光声气体传感器的工作原理,详细分析了多种不同结构传感器的原理......
本论文“微机械陀螺的材料和器件设计研究”主要围绕两个方面开展工作。 第一方面是中美合作项目“用于微传感器和微驱......
本文以硅微机械技术为基础研究了微谐振器和集成光学传感器。讨论了不同激励与检测方式下的谐振器的理论、工艺及其性能。并研究了......
在探讨２１世纪制造业面临的动态环境和社会需求的基础上，讨论了为迎接挑战而发展起来的先进制造技术中的代表性技术－先进制造系统技术和......
将微机电系统（MEMS）与光器件融合于一体的微光机电系统（MOEMS）是MEMS的一个重要的研究方向，它采用微细加工的技术手段，把微光学器件、微......
振动式微机械陀螺具有微型化、可集成和批量生产等优点，在航空航天、武器装备、汽车工业、医疗仪器等领域具有广泛的应用前景。对于......
小量程微机械压阻式加速度传感器实际中有较为广泛的用途，如汽车ABS系统、制导系统等都需要高精确度的小量程传感器。压阻式传感器......
互联网的发展使得人们对现有的通信体系提出了更高的要求，其中一个目标就是建立全光通信的网络平台以提高数据传输的透明性。光开关......
在分析MEMS(微电子机械系统 )传感器当前的发展现状、特点特别是在器件实用化和产品化进程中所面临的挑战后 ,提出了MEMS传感器技......
本文主要介绍了微结构气敏传感器制造工艺中的关键技术，例如双面光刻、反应等离子刻蚀、硅的各向异性腐蚀、采用溶胶—凝胶镀膜技术......
本文研究了制备微型质子交换膜燃料电池(μPEMFC)单体以及六单体串联的电池组的MEMS相关技术。该种电池组利用氢/空气自呼吸的工作......
本论文主要论述了一种新型的微梁直拉直压的硅微机械压阻式加速度传感器的设计、制作和测试。该传感器同时具有较高灵敏度和谐振频......
随着新技术的不断发展,机械工业技术中的一种新技术——微机械技术,也得到了高速发展。目前,它在航天工程的传感器技术中也得到广......
对微机械技术进行了简要介绍,着重分析了其在航天传感器技术中的具体应用,并对我国微机械技术的发展现状及未来趋势进行了简要的论......
微机械技术是一种新兴的机械工业技术,其有着智能化、微型化、分辨力高的特点,利用微机械技术能够开发出一批性能优良的传感器,在......
分析了MEMS共面波导结构,在MEMS共面波导的基础上设计了一种MEMS滤波器,研究了它的电磁学、热应力等微尺度效应.在这些微尺度条件......
