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提出了一种插入损耗较低、介质薄膜生长在桥膜上的新结构微波MEMS开关.该开关桥膜由介质/金属/硅三种薄膜构成,并采用键合和自停止......
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提出了一种插入损耗较低、介质薄膜生长在桥膜上的新结构微波MEMS开关．该开关桥膜由介质／金属／硅三种薄膜构成，并采用键合和自停止腐蚀......
