复杂三维微纳结构广泛应用于微机电系统、微流控芯片、微型光学元件、微型传感器等领域。传统的微纳加工方式成本高、耗时长,且无......

基于空间光调制器的无掩膜光刻是光刻技术重要发展方向之一.近年来,随着数字微镜器件芯片集成度与性能的提高,数字微镜器件无掩膜......

首先搭建具有高精度面投影微立体光刻设备,通过理论分析和实验相结合的方法获得最优打印工艺参数,然后提出一种可用于模拟地层岩心......

微管道用于电子芯片的冷却已引起极大的关注，相应地对微管道的制造方法及传热分析的需求也与日俱增。本文首先针对微管道的制造问题......

综述了国内外最近几年微立体光刻技术的研究进展。阐述了微立体光刻技术中的线扫描技术及面投影技术的基本原理及分类，分析了它们的......

日前,中国科学院沈阳自动化研究所微纳米课题组在生物细胞操控与三维组装领域研究取得突破,在《芯片实验室》上以封面文章刊载。胃......

压电陶瓷材料脆性大、不易加工,难以制备成结构复杂、微型的PZT压电陶瓷器件。增材制造技术中微立体光刻具有最高的成型精度,通过......

基于数字微反射镜的动态掩膜面投影微立体光刻技术是一种基于快速原型制造思想的新型微细结构加工手段,其系统中常用树脂槽和涂覆......

本文介绍了微纳尺度3D打印的技术背景和发展现状,从专利的角度分析了微纳尺度3D打印技术的时间分布、地域分布、技术主题分布、申......

微立体光刻技术是基于快速原型制造技术思想的新型微细加工技术。在微立体光刻制造中,光敏树脂在一定波长的光照下发生固化反应,光......

复杂三维微纳结构在微纳机电系统、生物医疗、组织工程、新材料、新能源、高清显示、微流控器件、微纳光学器件、微纳传感器、微纳......

现有微立体光刻技术制备的压电陶瓷普遍存在密度小、性能低、几何精度难以精确控制等问题。本文通过设计陶瓷浆料各组分之间的成分......

数字微镜器件（Digital Micro-mirror Device,DMD）作为数字光处理技术（Digital Light Processing,DLP）的核心，可通过控制其反射微镜的偏......