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光寻址电位传感器(LAPS)是八十年代末发展起来的一种高灵敏度新型硅传感器，它的功能类似于化学场效应管(ChemFET)而结构比较简单。......
文章介绍了利用单晶金刚石刀具加工具有微结构表面特征的光学器件的实例，就微光学器件的应用标准从面型精度和表面粗糙度方面提出了......
设计了一款基于压电陶瓷驱动、利用柔性铰链铰接的微结构加工快刀伺服系统.用理论计算和有限元分析软件对柔性铰链进行了优化和分......
进行了电解复合超声频振动加工微结构的基础试验，分析了微电流电解过程钝化现象，研究了超声频振动冲击波及负压空化作用消除电解钝化......
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
本文建立了微动工作台和原子力显微镜相结合的微加工系统,在该系统上采用金刚石针尖进行微加工实验,与SPM系统本身的刻划软件刻划......
掺镁铌酸锂晶体(Mg:LiNbO3)是一种相对难刻蚀的晶体,Mg:LiNbO3的干法刻蚀速率和刻蚀形貌控制是铌酸锂光电子器件加工中的关键技术......
碳化硅(SiC)陶瓷等超硬材料因其独特的性能在制造微结构元件的模具领域有广泛应用；磨削作为目前最为可行的超硬材料精密加工手段，面......
学位
碳化硅（SiC）作为一种多相陶瓷材料，具有硬度高、耐磨损、耐高温、化学稳定性好等优点。基于SiC陶瓷材料的微结构模具表面具有良好的精......
模具钢材料作为最常用的模具材料之一，其很高的硬度、抗压强度以及耐磨性使得其在冲压模具和成型模具的制造中扮演着重要的角色。而......
玻璃、陶瓷等脆性非导电材料具有超硬、耐磨、电阻率高、导热性能好等特点，在MEMS中的应用越来越广泛。电解电火花复合加工作为一种......
纳米技术的发展使微光学器件在通信、存储、成像、传感中得到了广泛应用。其中,微光栅、微透镜阵列等微光学元件正在成为人们研究......
由于蓝宝石晶体具有很高的硬度和耐磨蚀性，很难进行机械和化学腐蚀加工。笔者利用波长780nm、频率1kHz和脉冲宽度164fs的飞秒脉冲激......
