利用Sol—Gel法在Pt／TiO2／SiO2／Si基底上用快速热处理（RapidThermalProcessing，RTP）退火工艺制备出了致密的PZT铁电薄膜，主要研究了在退火......

利用快速热处（Rapid Thermal Processing，RTP）技术，成功制备了单晶硅太阳电池。在三个重要的热处理环节（磷扩散制作P—N结、热氧化、电......

本文用化学腐蚀法在多晶硅基片上制作多孔硅，通过SEM、XPS对多孔硅的表面微结构及其组成进行了研究，定性地分析了氧在多孔硅层中的作......

20世纪70年代全世界发生了以石油为代表的“能源危机”,这让人们认识到常规能源的局限性。随着石油、天然气等化石能源的迅速消耗,......

对经过电子辐照的n型[111]晶向直拉硅样品在不同气氛下进行了热处理，对比研究了热处理气氛对电子辐照直拉硅中的缺陷形貌、间隙氧含......