悬浮栅相关论文
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本文介绍了双敏感膜、复合悬浮栅(Hybrid Suspended Gate即HSG)FET型臭氧传感器的结构与制作.重点研究了敏感膜和结构不同的传感器......
通过对ISFET敏感机理的理论分析，根据表面基模型，建立了悬浮栅结构ISFET器件的HSPICE动态行为模型，对ISFET器件的动态特性进行仿真得......
研究了内嵌InAs量子点的异质结场效应晶体管在室温和低温下的电学特性,获得了量子点影响下器件的输出特性曲线。在室温下,通过分别......
基于0．6μmCMOS工艺设计了一种新型的pH值传感器。多晶硅和双层金属电极形成复合的悬浮栅结构，Si3N4钝化层作为敏感层。传感单元为W／L......
