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慢正电子技术研究ZrO2(Y2O3)薄膜的温度效应
用慢正电子技术研究了在溅射时不加偏压 ,纯 Ar气氛 ,基片分别为加热 3 0 0℃和不加热的情况下制备的 No.2系列和 No.7系列的用 Y2......
期刊
ZrO2(Y2O3)薄膜
慢正电子技术
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