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对半导体成品率进行预测分析可有效控制产品成本,提高产品质量,而缺陷问题是导致半导体成品率损失的关键因素。因此,考虑晶圆缺陷......
现有成品率及关键面积估计模型中。假定缺陷轮廓为圆。而70％的实际缺陷轮廓接近于椭圆．提出了椭圆缺陷轮廓的成品率模型，该模型与圆模......
实现了基于圆缺陷模型的蒙特卡洛关键面积及成品率估计，模拟了圆缺陷模型估计的成品率误差与缺陷的矩形度之间的关系，提出了更具有一......
现有成品率及关键面积估计模型中，假定缺陷轮廓为圆，而实际缺陷轮廓为非规则形状．本文提出了矩形缺陷轮廓的成品率模型，该模型与圆模型......
