投影物镜波像差相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

投影物镜波像差相关论文

基于成像光强的光刻机像差原位检测理论与方法研究

随着光刻技术不断发展,成像分辨率极限一再推进,投影物镜数值孔径越来越大,光刻机像差直接影响成像分辨率和工艺窗口,是评价光刻机......

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投影式光刻部分相干照明光学成像建模投影物镜波像差偏振像差原位检测泽尼克多项式

基于灵敏度解析函数的光刻机波像差检测理论与方法研究

随着光刻极限不断向前发展、光刻分辨率不断进步和提高,光刻机投影物镜波像差已成为评价光刻成像质量最关键的检测指标之一。目前,......

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光刻投影物镜波像差在线检测泽尼克离轴照明光学成像建模光源建模

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