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国际半导体技术发展路线图(ITRS)2009年版综述(5)
<正>4.7新兴材料研究2009年"新兴材料研究"一章是2007版的更新。2009年的"新兴材料研究"一章已经重新组织,针对不同的应用来考察材......
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