光刻胶材料相关论文
近年来,我国光刻胶材料的市场规模大幅增长。本文对光刻胶材料中国区域的专利申请的现状进行了分析,梳理了专利申请总体趋势、地域......
光刻技术在半导体器件大规模生产中发挥重要作用．今天，多数先进半导体生产都已经应用ArF准分子激光浸润光刻技术．双重图像曝光和侧壁......
光刻胶又名“光致抗蚀剂”,是一种在紫外光等光照或辐射下,其溶解度会发生变化的薄膜材料。光刻胶的配方较为复杂,通常由增感剂、......
<正>4.7新兴材料研究2009年"新兴材料研究"一章是2007版的更新。2009年的"新兴材料研究"一章已经重新组织,针对不同的应用来考察材......
近几十年间,微电子技术得到了迅猛的发展。根据摩尔定律,集成电路的集成度每隔两年翻一番。制作当今集成电路高分辨率线路元件的核......
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