无机光刻胶相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

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声表面波器件的工艺技术

本文讨论工艺技术,以声表面波器件用的微米和亚微米线宽的叉指电极为议题,概括了国外声表面波器件工艺技术的现状,从声表面波器件......

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声表面波器件工艺技术无机光刻胶微米干法显影叉指电极光刻胶反应溅射刻蚀干法刻蚀掩模

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