显微干涉法相关论文
鉴于三维形貌在微机电系统(MEMS)测试领域的重要地位及显微干涉法在光学计量领域的高精度性能,开展了显微干涉法在MEMS结构三维形......
一、引言截面折射率分布是优质光纤材料制备工艺中必须控制的一个最重要的参数,它对于所拉制成光纤的光传输性能有决定性的影响。......
提出了一种基于显微干涉和有限差分法在微悬臂梁上实现曲率精确测量的方法。该方法将使用相移显微干涉法测得的微悬臂梁表面弯曲信......
常用的干涉系统可测量较大区域但达不到足够的分辨率,干涉显微镜的测量可达较高的分辨率,但测量区域小。本文提出了一种将干涉显微......
