晶向偏离相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

晶向偏离相关论文

硅单晶晶向偏离方向的确定方法

<正> 为了获取较快的外延生长速率及减少层错,作外延衬底用的硅片需要离取向(111)面偏离一个角度。例如,作TTL数字集成电路用的(11......

期刊

硅单晶定向仪中心点内圆切片机硅单晶片单晶棒晶向偏离确定方法

生长晶向偏离对直拉<111>无位错硅单晶外形的影响

运用邻位面台阶化概念,推导出直拉<111>无位错硅单晶横截面周界方程。阐述了无位错硅单晶的“鼓苞”机理,理论值与实验符合良好。......

期刊

硅单晶晶向偏离角晶向偏离

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