近些年来，SCARA机器人在半导体工业中得到了广泛的使用，该型机器人具有结构简单，速度快等特点。本文基于新型直接驱动晶圆搬运机器人，......

在很多技术领域特别是在半导体制造、汽车制造和消费电子制造领域高速高精度的操作手的需求正在逐渐增加。在半导体领域已经有很多......

本课题以基于SCARA (Selective Compliance Assembly Robot Arm)机械臂模型的直驱晶圆搬运机器人为研究核心,开发出用于半导体制造......