利用直流反应磁控溅射法在Si衬底上沉积了高结晶质量的氮化锆(ZrN)薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)、......

应用热丝辅助等离子体化学气相沉积法 (CVD)合成了表面呈柱状的BC2 N薄膜 ,X射线、红外及X射线电子能谱分析表明 ,薄膜的化学组分......

采用射频磁控溅射方法在硅（100）衬底上制备了ZnO薄膜，运用X射线衍射仪（XRD）分析了不同的生长条件和退火处理对ZnO薄膜结晶特性的影响．应......

采用脉冲激光沉积方法,在氧化镁（MgO）单晶的（001）晶面上制备出钛酸钡（BaTiO3）/钛酸锶（SrTiO3）多层薄膜。利用高分辨透射电子显微镜（HRTEM）以......