栅距相关论文
从理论上分析了光栅法和Ｆ—Ｐ法实时测量激光波长的优劣性，提供了两种方法的实验照片和实验数据，从而说明了两者实时测量激光波长的可行......
作者研究提出了用光栅,判向电路,同步计数器和D/A转换器来构成一种新型光栅电压控制器,由于它没有磨损问题,工作稳定可靠,所以特别......
介绍了掠入射高分辨平焦场ＨＩＲＥＦＳ（ＨｉｇｈＲｅｓｏｌｕｔｉｏｎＥｒｅｃｔＦｉｅｌｄＳｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ）谱仪的主要结构和性能。采用预脉冲实验技术，使用该谱仪对线聚焦条件下钛靶的轴向空间分辨谱进行了研究，得......
圆光栅副的系统误差主要包括微量不等距系统误差，均匀性误差，光栅栅线刻划误差等三种误差。分析它们产生的原因和它们对莫尔条纹的影......
采用微动螺杆、斜面、正弦杠杆等四级缩小原理、产生标准的微量角，测量高分辨力光电轴角编码器的分辨力和细分误差，并用直接比较法测......
本文主要研究多功能光电检测系统在机械制造业中，对回转体零件尺寸，形状误差检测的理论与应用。讨论了激光扫描检测技术与光栅位移检......
介绍了计量光栅的测试与研究。这些光栅有刻划-腐蚀、照相-照相-镀铬、刻划-镀铬、照相-离子蚀刻。进行了光栅透射函数、±1级光强......
介绍一种在分步投影光刻机中，采用不等栅距光栅进行对准的系统。详细介绍了该系统的光学原理、所采用对准目标的刻线形式、空间滤波......
光纤布拉格光栅在非均匀应力场作用下，其纤芯折射率及光栅栅距都将产生非均匀变化。本文给出了光纤光栅与非均匀应变场的相互作用模......
本文介绍了数显表在我国的发展概况 ,以及感应同步器、光栅和磁栅兼容的数显表的基本原理
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完全认识珑管显示器的奥秘老说珑管珑管，到底什么是珑管？所谓珑管，其实就是特丽珑和钻石珑显像管的简称，由于这两种显像管是将光栅纵向......
在华主席“抓纲治国”方针的指引下,上海机床厂磨床研究所科研人员为了提高产品质量,为磨床提供高精度测量手段,于今年初开始研制......
一、前言由于科学技术的发展,圆光栅作为精密测角元件也愈广泛。为了较快地得到高精度的圆光栅,人们采取措施,利用两片圆光栅形成......
传统的透射式二光栅系统为了提高精度,需要高度准直的光源,主光栅和指示光栅之间的间隙很小,一般位于第一菲涅耳焦面上,允差较小,......
针对X射线透射光栅摄谱仪中对高线密度聚焦变栅距光栅的需要,利用电子束光刻技术,研制了X射线透射变栅距光栅。利用变栅距光栅的自......
提出一种基于线性模型的光刻投影物镜偏振像差补偿方法。根据Hopkins矢量部分相干成像理论,推导了投影物镜含有偏振像差时交替型相......
为减小圆光栅测量过程中叠栅条纹信号的细分误差,提出了一种对叠栅条纹采样信号进行参数辨识与偏差补偿的方法。该方法运用遗传算......
简介时钟脉冲细分技术的原理，着重分析其细分误差因素，给出了计算实际最大细分数的理论公式，并论述了光栅最大运动速度、时钟脉冲分频......
本文从粗线纹光栅位移测量系统的原理出发，对里周期性变化的细分误差作了详细的理论分析，并得到了实验的验证．同时提出了从硬件上和软......
一、测量系统经过分析不同的测量系统(如直线差动变压器、直线电位计等),莫尔条纹技术似乎是有关电子千分尺中拟采用的测量系统中......
在随动跟踪和自动控制系统中,越来越多地采用光栅作为检测元件。但是,由于普通的光栅装置把机械量(如角位移、线位移等)转换为电......
前言利用光栅测量技术进行机械位移测量,在国内外早已获得了广泛的应用。近年来,由于激光干涉超精度伺服刻线机的出现,使光栅刻线......
一、原理粗细光栅组合,产生干涉条纹的光路原理示于图1,基本情况文献中已经叙述。现对干涉条纹的产生、定位和干涉条纹相对光栅位......
我厂广大革命职工,高举毛泽东思想伟大红旗,狠批了叛徒、内奸、工贼刘少奇推行的反革命修正主义路线,以毛主席的光辉哲学思想为武......
一、前言激光干涉测长仪能够达到0.1μm以上的检测精度,但该装置有结构复杂、体积大和造价昂贵的缺点:光电式体积小、造价低,但因......
1874年 L.雷莱第一次描述二个光栅重叠产生的干涉条纹以来,用条纹移动进行测量有过许多偿试。在与第一个条纹相距1/4条纹间距处增......
本文简述了零位光栅的特点,对零位栅线的设计进行了探讨,提出一种利用电子计算机进行设计的方法和程序。
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本文介绍了三光栅系统的成象原理和条件,对三光栅系统的衍射象和几何象的特点和三光栅读数头装置,也分别作了叙述。
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本文在普通增量式光栅测量系统工作原理的基础上,分析了绝对零位光栅测量系统的特点及二者之间的区别。文中重点论述了: 1.绝对零......
影栅云纹法是近几十年来发展较快的一种实验力学的新型实验研究方法之一。它是利用一平行光照射,通过光栅到试件上再折射回来产生......
为了获得有足够对比度的莫尔条纹图象,需对一次位置变换器的光栅工作间隙 q 加以限制,使 q......
一、概述目前,国内采用的百分表检定器虽然种类很多。但仍沿用50年代以来的螺旋副式结构原理。此类检具存在两个问题:一是回程误......
在光栅计量技术中,裂相光栅的一个重要特点,是其对标尺光栅与指标光栅之间的平面转角误差不敏感。本文从理论上对此转角误差的容限......
本文从泰伯效应出发,以实验结果讨论了泰伯距离与菲涅尔焦面的关系,并且得出,等栅距光栅传感器,光栅间隙在1/4泰伯距离时无讯号输......
在测量表面小倾角时,人们一般使用的是自动准直光管。由于测量区域受到限制,所以要测量大件物体表面局部的倾角变化是较困难的。......
一、概述我们在本厂激光定位动态光刻台的基础上,增加光栅参数处理的电气装置,构成了激光定位光栅动态检测仪(以下简称检测仪), ......
本文介绍一种基于Talbot效应检校光束准直性的新方法——光栅摆动法。它不需要测量莫尔条纹的方向,也不需要瞄准条纹,而仅仅是转动......
圆盘光栅广泛应用于自控系统中,为了保证系统有一定的精度,需要对光栅组进行认真的调整。本文指出了影响圆光栅精度的一些因素和解......
本文报导一种用透射光栅测量微观区城内流速的方法。此法通过测量放在光探测器前的透射光栅处运动粒子的图象即可求得流速。显微物......
本文介绍一种采用非球面准直镜的小型光栅读数头及与其配套使用的数显装置的工作原理、电路原理,并叙述了该光栅读数头的光学系统......
