梳状谐振器相关论文
分析了双极板静电换能器在小信号激励下极板水平运动的情况,推导了适合于F-I类比的机电关系表达式.由于SPICE中没有对应此关系式的......
基于结构鲁棒设计思想,针对两个振动自由度的静电梳驱动折叠梁微机械滤波器,在指定耦合梁宽度等于振子折叠梁宽度的前提下,推导出......
研究了梳状谐振器在大信号作用下的机电特性方程，采用SPICE中的多项式受控源，给出了其F—I类比的大信号等效电路，同时根据所得到的等......
随着通信和电子技术的飞速发展,电讯系统的小型化、微型化成了必然趋势。微加工技术利用标准集成电路工艺,可以直接将机械滤波器制......
