梳齿电容式加速度传感器具有测量精度高、灵敏度高、温度漂移小等优点,在智能汽车、地震监控、地质勘探等领域得到广泛应用。然而......

在城市交通发展过程中,由于长期只侧重于动态交通--修路,而忽视了静态交通--建停车场(库),使得停车位供不应求。因此,解决停车难的......

旋转梳齿驱动器是MEMS静电驱动中常用的重要部件。现有的典型旋转梳齿驱动结构有三个自由度，其中横向自由度对驱动器的性能影响较大......

微机械加速度传感器克服了传统机械传感器的诸多缺点，而在许多领域得到了广泛的应用，其中，电容式加速度传感器因其高灵敏度、低温度漂......

提出了一种新型静电驱动微机械陀螺结构，采用两组对称的梳齿结构作为驱动电极，同时采用中央质量块栅格和与驱动电极相同的梳齿两种结......

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在MEMS技术的基础上,设计了一种梳齿式二维微纳传感器的芯片结构。通过应用硅基力敏感结构,实现了将微弱不可测力学信号转换为可测......

梳齿式电容加速度计对梳齿的形貌有很高的要求,如需要梳齿侧壁具有良好的垂直度和粗糙度等。利用深硅刻蚀机对梳齿结构进行加工需......

针对梳齿电容形式的微机械加速度计,对其工作原理和动态性能进行了分析。该微结构的质量块由4个折叠梁支撑,采用梳齿结构形成差分......