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说明原椭偏谱仪不能直接测量膜厚,提出外加波长片后可以测量膜厚的2种方法....
<正> 一、引言自动旋转检偏器椭偏谱仪是一种研究薄膜及表面的光学仪器,用于测量不同波长下,样品的折射率n、消光系数k、介电常数e......
