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比例缩小相关论文

按比例缩小技术在微纳米中的挑战和对策

按比例缩小技术是驱动集成电路发展的一项关键技术,在进入微纳米后出现了一系列的挑战.文中分析了按比例缩小在光刻技术、器件的亚......

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集成电路比例缩小光刻技术互连延迟亚阈特性功耗平台集成 micron and nanometer scaling down lithography

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