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气体状态参数空间场相关论文

热丝化学气相生长金刚石薄膜的模拟计算和动力学机制研究

在传统的热丝化学气相沉积(HFCVD)大面积金刚石膜体系中,衬底温度场和气体状态参数空间场的分布直接决定着薄膜的形核密度和生长速......

学位

HFCVD 金刚石薄膜衬底温度场管道壁温度场气体状态参数空间场模拟计算生长动力学

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