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气体状态空间分布相关论文

大面积金刚石膜工业化反应器设计原理及生长工艺的研究

该文分析了低压气相生长金刚石膜现有设备和工艺的特点,确定热丝化学气相沉积(HFCVD)工艺,设备简单,成本低廉,膜层质量好,扩大生长......

学位

HFCVD 大面积金刚石膜衬底温度空间分布气体状态空间分布形核生长工艺

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