气体离化团束相关论文
设计并制造了ＣＯ２离化装置——由电子轰击对团束进行离化，由电极电位进行加速，由阻止势进行质量分离。通过实验确定了最佳参数，其中包括：离......
由ＣＯ２离化团束辐照Ｓｉ表面形成的氧化层的厚度与ＣＯ２团束大小及团束能量相关，而其成分接近ＳｉＯ２。在低辐照剂量下，氧化层增厚服从反应规律，而在高剂量......
利用ＲＢＳ和椭圆仪分析对ＣＯ２离化团束引起的硅表面的损伤进行了研究。实验发现，采用大尺寸团束照射，损伤程度小而且损伤层薄；团束尺寸越大，越容......
用原子力显微镜测量了气体离化团束照射后表现粗糙度的变化。已经证实气体团束轰击对表面沾污具有很高的清除率，同时却引起较低的损......
