表面平坦化相关论文
机械产品材料表面力学性能直接关乎其服役工况下使役性能和寿命。应力诱导的表面磨损和疲劳失效等表面力学性能衰退现象成因复杂,......
本文提出采用气体团簇离子束的两步能量修形法来改善4H-SiC(1000)晶片表面形貌.先用15 keV的高能Ar团簇离子进行整体修形,再用5 ke......
一个电荷量的团簇离子,比如Ar+n.当团簇离子与固体材料相互作用时,由于平均每个原子携带的能量(～eV)根据超声膨胀原理,n(10—104)个......
金刚石压力传感器的制作是高温传感器件的一个重要研究方向,具有很大的市场潜力.该文围绕金刚石薄膜高温压力传感器的制作这一主题......
研究了一种去除碲镉汞液相外延（LPE）薄膜材料表面波纹的方法。器件结果显示,利用该方法可以有效去除碲镉汞薄膜材料表面的波纹,获得......
通过高温退火处理获得了具有在原子尺度范围内平坦化表面的Gd3Ca5O12（111）基片。在此基片上生长的Y3Fe5O12薄膜的表面光滑度有明显提......
以NSR1755i7A型投影曝光机为基础，分析了影响大面积精细光刻图形分辨率的主要因素。利用表面平坦化技术、BARC工艺技术和PEB工艺技......
为克服目前隔离结构平坦化技术在工艺控制、平坦化质量等方面存在的问题,提出了一种新的隔离结构表面平坦化工艺,即利用稠光刻胶做......
