气体纯化器相关论文
阐述半导体制造过程中的重要设备气体纯化器的发展背景,气体纯化设备的国产化替代历程,存在的问题和应对的策略,从而适应集成电路......
设计并研制了由气体纯化器、 水渗透管和稀释装置组成的微痕量水分标准发生系统.以氮气为稀释气,系统可连续发生含量范围为 10～1 00......
随着我国产业的迅速发展，对于高纯气体的需求也越来越多，品质要求也越来越高，因而对于高纯气体中的杂质检验和控制也就更加严格。本文......
通过实验和数据说明了空分装置生产的液氧经汽化后进入配有气体纯化器、放电离子化检测器和Hayesep S 30"×1/8"填充柱的气相......
应用于半导体产业的硅外延材料,其制造工艺的发展迄今已将近50年。一方面,为了满足硅外延片从小尺寸向大尺寸发展以及材料均匀性要......
