高纯气体相关论文
随着特征尺寸(CD)的不断减小和套刻精度的不断提高,对AMC(气相分子污染物)引起的污染问题越来越重视。投影光刻机中对AMC的浓度的控制,......
高纯气体在半导体器件制作及燃料电池等行业应用广泛,但其杂质气体直接对加工精度及效果产生显著影响,因此对关键痕量杂质气体进行......
传统的高纯气体充装大多由“一”字型充装排与抽真空系统组成。这些手动系统存在操作繁琐,人工劳动强度大,充装后的产品纯度稳定性......
高纯气体中容积钢质无缝气瓶(下文统一简称为高气瓶)在现代工业中得到了广泛应用,其应用效果会受高气瓶性能的影响.因此,在对高气......
我国的工业生产中,高纯气体的应用就比较普遍,种气体在化学测量等方面也具有重要作用.因此,探求高纯气体在我国的应用现状以及未来......
在工业气体市场中,林德气体一直以其精专跟高标准所著称。HiQ产品,为高端需求而建立科研和检测实验室往往需要使用数量庞大、要......
高纯气体管道管材是经过内壁抛光处理的不锈钢管.本文从高纯气体管道安装的准备阶段、检查阶段、下料、脱脂、对口焊接、支、吊架......
中国科学院金属研究所研制生产的内表面经特殊处理的气瓶及配套件系列,是一种获国家四项专利和中国科学院科技进步二等奖的高新技......
高温超导材料YBa2Cu3O7-x(即YBCO)在加氢的普氮气流中,在100~300℃的温区里就能生成H2O和高纯N2。系列的X-光谱和热重分析以及相应......
空气产品公司最近宣布,公司位于南京市浦口经济开发区的新工厂已经顺利投产,为园区内客户供应高纯气体。该工厂还向南京及周边市场......
介绍了一种具有实时在线测量功能的高纯气体微量水微量氧自动检测装置,详细阐述了该装置的结构组成和性能特点,包括装置的硬件系统......
通过对SP-2305气相色谱仪气路的改装和加装镍触媒转化管,实现了高纯气体中微量CO、CO2、CH4的测定.获得的数据准确可靠.......
随着我国产业的迅速发展,对于高纯气体的需求也越来越多,品质要求也越来越高,因而对于高纯气体中的杂质检验和控制也就更加严格。本文......
不同种类的高纯气分析很难在一台分析仪器上实现,这对生产气体的厂家是一个棘手问题,100DID分析仪可实现几种高纯气及其不同底气的......
研究了用电感耦合等离子体质谱(ICP—MS)测定高纯气体五氟乙烷中铝、磷、硼等杂质的分析方法.在最佳仪器条件下,通过选择合适的吸收液......
高纯气体具有组分稳定,无尘、无水滴、无油污的特点,为流量测量和流量计的稳定运行创造了良好的条件。通过对比差压式流量计和热式......
针对保护气输送过程中的二次污染所造成的锡液氧化、产品质量下降等问题提出了弥补的办法。就终端纯化装置对高纯气体中残余氧的堵......
利用膜分离级联制备某些高纯气体时,杂质端取料量很小,不利于级联运行控制,为此考虑采用间断取杂质的运行方式。本文根据膜分离级......
着重介绍武钢氧气公司的气瓶处理系统改造前后的系统差异和对比.确保气瓶处理的技术指标和合格率.......
高纯气体在LED上游产业的应用中具有十分重要的地位,它们在技术发展、质量提升方面相互促进、相互影响。本文主要阐述了广东LED上......
精密加工制造中颗粒物含量影响产品质量和成品率,是评价高纯系统的重要指标之一。高纯管路系统的颗粒物来自于高纯材料的制造、管......
阐述了对高纯气体产品质量监测的重要性并分析了影响高纯气体质量监测准确性的各种因素(掌握正确的取样技术;配备高气密性、不产生......
对高纯气体中微量水的各种测定方法的原理和相关仪器的技术性能进行了介绍,并对测定结果进行了比较和分析.......
论述了放电离子化检测器在高纯气体杂质成分分析中的应用....
瓶装气体充装企业主要从事瓶装氧气、氮气、氩气、二氧化碳、氢气、氦气等气体产品的充装业务,瓶装气体充装企业在多年的发展过程......
本文对放电型气相色谱仪在高纯气体及特种气体杂质测定中的应用进行了介绍。文章围绕氩放电型气相色谱仪及氦放电型气相色谱仪的性......
介绍了 ZDF 2 5 - 45气动波纹管阀门 ,该阀具有价格低廉、运行高效等特点 ,可以替代进口阀门 ,广泛应用于高纯、超纯、超高纯气体......
本文简述了氢焰离子化检测器(FID)与氦离子化检测器(PDHID)的结构,工作原理及其应用。通过对高纯气N2、H2、Ar、He、O2中杂质分析......
简要介绍各类气相色谱检测器在高(超)纯气体分析应用中的特点,为实际应用中选择何种气相色谱检测器分析高(超)纯气体进行简单总结,......
脉冲放电氦离子化检测器作为一种高灵敏度检测器,能够检测除氖以外所有气体组分。为了更高效地检测高纯气体中杂质,避免基底气对分......
期刊
湿度是用来表示水蒸气在空气或其它气体中含量多少的物理量.我们周围的空气中除了含有氮气、氧气及二氧化碳等气体及尘埃外,还含有......
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”$ MN。W;- __._——————》 砧叫]们......
高纯气体中痕量氢气、氧气的分析在众多领域已成为研究的热点,特别是在某些特殊的场合对这类气体的检测需要快速准确甚至实时在线一......
随着工业产能的不断释放,高纯气体的纯度与产品的质量之间的关系逐渐凸显,引起了科研工作者的广泛关注,因此高纯气体中微量或痕量......
介绍了使用氦离子化检测器的色谱仪的工作原理,以及使用氦色谱仪分析不同种类高纯气体中微量杂质的具体方法。......
主要概述了高纯气体中微量水、微量氧、碳氧化物和碳氢化合物含量的测试方法、原理、分析注意事项,并就当前化验工作现状,归纳出了......
本刊1983年No.4刊载了“特种气体中单元高纯气体的品种及用途”一文,时隔三年,作者又收集到20多种纯气,现予补充。......
0概述一氧化碳、甲烷、二氧化碳是高纯气体产品中普遍控制的杂质,通常采用气相色谱法进行测定。使用热传导鉴定器、氦离子化鉴定器、......
脉冲放电氦离子化检测器作为一种通用型检测器,对几乎所有气体组分均具有很高的灵敏度。中心切割技术通过对气体的切割,可有效分离......
期刊
介绍高纯气体长管拖车的结构特点以及使用特点,气瓶和管路技术特性与普通长管拖车区别,在运行中存在充装介质无腐蚀性、充装次数少......
<正> 一、前言高纯气体已成为电子工业不可缺少的化工原料之一。虽然各半导体生产工艺对所用气体的纯度要求不同,但同一种杂质给半......
电化学抛光不锈钢管已成为输送高纯气体的重要管线。对这种管和其它方法处理的管进行了比较,阐述了电化学抛光的机理和电化学抛光......
<正>85Kr是β-衰变类型的气体放射性核素,2003年被我所推广用于电光源行业。电弧管中填充微量85Kr,虽能明显改善金卤灯的启动性能,......
本文通过对高纯气体焊接气瓶特性及工艺技术的分析,提出对高纯气体焊接气瓶采取一些特殊结构设计,从而避免形成结构死区,并满足工......