氟化非晶碳(a-C:F)薄膜相关硕士博士期刊学术论文

研究了电子回旋共振等离子体技术沉积的氟化非晶碳 (a_C :F)薄膜的电学性质 .发现对于不同C_Fx 含量的薄膜 ,CC含量的增大对薄膜的......