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GaAs Ti/Pt/Au栅PHEMT单片集成电路耐氢能力的提升
为提高GaAs Au/Pt/Ti栅PHEMT MMIC放大器耐氢气的能力,提出了在PHEMT栅上加厚SiN钝化层的方法,并通过高温加速氢气试验验证了该方......
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