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用磁控溅射法在水冷PPA聚脂胶片上制备了性能优良的ITO透明导电膜.本文重点讨论了溅射氩分压对薄膜的结构和光电特性的影响,合适的......
研究了射频磁控溅射的溅射氩气压的变化对TbFeCo薄膜的磁和磁光特性的影响,以及不同溅射氩气压下TbFeCo薄膜退火后的特性.溅射氩气......
